半导体机台效率分析图 半导体机器多少钱一台

半导体机台利用率如何提高，在半导体封装中，因wafer的翘曲度等，8in一直是12/13 pcs per batch.但在12in中，slot pich达到了10mm，所以可以直接25pcs/batch，和芯片fab厂一致。那效率提高了多少呢？我们利用采集的数据进行分析。

以外观检测机台AOI为列：

library(dplyr)

library(sqldf)

library(ggplot2)

library(grid) # 一页多图包

library(plotly) # 动态表格

library(ggthemes) #配色主题包

library(RColorBrewer) # R的配色主题包

# 从EDA平台中找到需要的data，使用sqldf函数，

AOI<-sqldf("select * from AutoTrack where machineId like 'AOI%'")

再梳理下哪些机台25pcs跑货了，使用dplyr包中的filter函数

AOI_25<-filter(AOI,waferQty=='25')

进行不同的数据查看

unique(AOI_25$machineId)

进行ggplot画图：

aoi_oee<-ggplot(AOI_OEE,aes(x=reorder(Month,Utilization),y=Utilization,fill=sEquipmentCode))+geom_bar(stat="identity")+

theme_economist()+scale_fill_economist()+ #使用ggthemes包中的华尔街商业模板

theme(axis.title.x=element_blank(),axis.title.y=element_blank())+ #去除x/y的标题

labs(title="AOI OEE Per Month:unit(%)")+ # 加标题

geom_text(aes(label=Utilization),position=position_stack(vjust=0.85)) #加柱子图的标签，调整字的高度

# 机台过站信息查询：

使用sqldf函数，查找AOI-09/10/11/12（之前分析过，该机台跑过25pcs））

AutoTrack_AOI<-sqldf("select * from AutoTrack where machineId == 'AOI-09' or machineId =='AOI-10' or machineId=='AOI-11' or machineId=='AOI-12'")

aoi<-ggplot(AutoTrack_AOI,aes(x=as.POSIXct(trackInTime),y=waferQty,shape=machineId,color=machineId))+

geom_point()+

theme_economist()+

scale_fill_economist()+

labs(y="wf-pcs",title="AOI每bath跑货的wafer数量")+

theme(axis.title.x=element_blank())

需要将2张图放置在一个页面，需要加装grid包：

grid.newpage() #创建页面

pushViewport(viewport(layout=grid.layout(2,1))) #将页面分成2行

vplayout<-function(x,y){viewport(layout.pos.row = x,layout.pos.col = y)} #构架函数

print(aoi_oee,vp=vplayout(1,1))

print(aoi,vp=vplayout(2,1))

得到图如下：

OEE效率图

从图上可以看到，机台使用25pcs跑的，机台效率整体提高很多，机台利用率变高了。